TAIWAN HIGH-TECH FACILITY ASSOCIATION
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高科技廠房綠色環保技術研討會
The Symposium of Green Fab Technology in High-Tech Plant

​主講人
主題
高慶揚 資深顧問
國立台灣大學
​SEMI高科技廠房設施委員會簡介
李宗銘 所長 
工研院
主題演講
半導體先進製程關鍵廠務技術
張章堂 終身特聘教授
國立宜蘭大學
高效能低能耗ⅤOCs處理技術簡介與實場應用​
王家慧 工程師
奧璐佳瑙
High-loading and Space Effective Bio Treatment​
張鈞哲 資深工程師​
建越科技
Selective Catalytic Oxidation Technology on IPA & NH3 Wastewater Treatment
蔡春進 講座教授
國立交通大學 
​Control of PM2.5 and its Precursor Gases
徐秉鈺 工程師
台灣美光記憶體

氨氮廢水處理系統之雙氧水去除最佳化

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SEMI 高科技廠房設施委員會

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