第一屆指導理事會 (2013-2015)

本委員會第一屆之主席、三位副主席以及秘書長，乃由 45 家創始會員於 2013年10月3日成立大會中互相推舉而產生；於同年10月11日召開第一次指導主席團 (Steering Board)會議，推舉出三位處長 (Chair of Sub-Committees)，其與SEMI Taiwan 代表及三位副祕書長，共同組成「指導主席團」，綜理委員會重要業務及重大決策。
組織圖 

五大工作推動小組

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