學經歷
李宗銘所長係國立清華大學化學工程博士,現任工業技術研究院 材料與化工研究所所長,兼任工研院循環經濟策略辦公室副主任。李所長專長領域為高分子奈米複合材料技術、電子構裝材技術、光電顯示材料技術。曾獲經濟部法人科技專案科專貢獻奬、行政院科專計畫執行績優獎、經濟部科專成果優良計畫、經濟部顯示器產品元件技術獎、經濟部國家產業創新獎-年度創新突破獎、全球百大科技研發獎(R&D 100 Awards)、美國華爾街日報-全球科技創新獎材料及基礎科技類首獎、美國華爾街日報-全球科技創新獎金獎。
學經歷
李宗銘所長係國立清華大學化學工程博士,現任工業技術研究院 材料與化工研究所所長,兼任工研院循環經濟策略辦公室副主任。李所長專長領域為高分子奈米複合材料技術、電子構裝材技術、光電顯示材料技術。曾獲經濟部法人科技專案科專貢獻奬、行政院科專計畫執行績優獎、經濟部科專成果優良計畫、經濟部顯示器產品元件技術獎、經濟部國家產業創新獎-年度創新突破獎、全球百大科技研發獎(R&D 100 Awards)、美國華爾街日報-全球科技創新獎材料及基礎科技類首獎、美國華爾街日報-全球科技創新獎金獎。
講題: 半導體先進製程關鍵廠務技術
Semiconductor Factory Technologies For Advanced Manufacturing Process
演講摘要:
隨著半導體製程朝5nm以下新世代高階製程的發展,除了晶片相關晶圓製程外,相關支援製程的廠務技術對於晶片良率與尺寸精度亦有重大影響,同時隨著全球綠色環保製造趨勢,滿足製程循環、低污染、與低廢棄物排放的需求,也是未來新世代廠半導體廠務發展的重點,工研院材化所在最近幾年藉由材料創新整合應用於水資源循環利用、水質關鍵指標監測、廢水去化應用與社會責任、廢氣微汙染控防治與原物料輸送管線安全監控等技術的開發,與半導體業者針對先進製程關鍵廠務技術進行相關開發,因應半導體製程工藝挑戰高階製造技術與12吋晶圓廠產能持續擴廠所需要的高科技廠房關鍵技術進行合作,除了維護其製程良率外並協助業者推動永續循環技術。藉此研討會期望能與科技產業緊密鏈結,共同致力於高科技廠房綠色環保技術開發與推動。
Semiconductor Factory Technologies For Advanced Manufacturing Process
演講摘要:
隨著半導體製程朝5nm以下新世代高階製程的發展,除了晶片相關晶圓製程外,相關支援製程的廠務技術對於晶片良率與尺寸精度亦有重大影響,同時隨著全球綠色環保製造趨勢,滿足製程循環、低污染、與低廢棄物排放的需求,也是未來新世代廠半導體廠務發展的重點,工研院材化所在最近幾年藉由材料創新整合應用於水資源循環利用、水質關鍵指標監測、廢水去化應用與社會責任、廢氣微汙染控防治與原物料輸送管線安全監控等技術的開發,與半導體業者針對先進製程關鍵廠務技術進行相關開發,因應半導體製程工藝挑戰高階製造技術與12吋晶圓廠產能持續擴廠所需要的高科技廠房關鍵技術進行合作,除了維護其製程良率外並協助業者推動永續循環技術。藉此研討會期望能與科技產業緊密鏈結,共同致力於高科技廠房綠色環保技術開發與推動。