TAIWAN HIGH-TECH FACILITY ASSOCIATION
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高科技廠房空汙技術與管理研討會
Symposium on High-Tech Fab Air Pollution Control Technology and Management

時間
主題
講者
11:20-12:00
臺南市半導體業溫室氣體減量及空污管理策略​
林淵淙 局長
台南市政府環境保護局​  
14:20-14:45
Voc 線上監測困難點及對處理系統的影響
楊健華 總經理
閎瑞科技
15:00-15:25
​蜂巢狀沸石轉輪處理半導體製造業有機排氣的性能提升及熱貫穿正逆脫附延長轉輪壽命的探討 ​
張豐堂 董事長
傑智環境科技
15:25-15:50
無塵室中AMC智能線上即時監控技術歸納與彙整
張瑞玫 技術協理
金兆益科技
15:50-16:15
​高階製程有害氣體防治技術(待更新)
吳益銘 業務經理 
達思系統
16:15-16:40
​單轉輪有機廢氣處理系統效率提升零排放趨近
扶亞民 技術總監
華懋科技
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SEMI 高科技廠房設施委員會

電話: (03)6681274 / E-mail: htftaiwan@semi.org
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