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張豐堂(Feng-Tang Chang)
傑智環境科技股份有限公司
JG Environmental Technology Co., Ltd |
學歷
- 清華大學工程與系統科學系工學博士
- 國立交通大學工學院兼任助理教授
- 高考專利師及格
- 高考冷凍空調工程技師及格
- 2014、2018經濟部國家發明創作獎金牌、銀牌
- 2011經濟部國家產業創新獎
講題: 蜂巢狀沸石轉輪處理半導體製造業有機排氣的性能提升及熱貫穿正逆脫附延長轉輪壽命的探討
演講摘要
就現行已開發及商用之含VOCs廢氣污染防制設備應用於半導體產業而言，以溫變式蜂巢狀沸石轉輪搭配焚化爐最為普遍，但是市場上及學術界甚少有關溫變式蜂巢狀沸石轉輪吸脫附性能提升的相關論述。因此，本簡報擬針對習有陶瓷纖維基材的轉輪改為玻璃纖維基材後，搭配吸附材料之組合變更與固定結構、脫附再生方式的改良，探討近幾年新商用化的溫變式蜂巢狀沸石轉輪吸脫附淨化處理半導體製造業有機排氣的主要有機物(包括異丙醇(IPA)、單甲基醚丙二醇乙酸酯(PGMEA)…等成份)之高效能吸附特性與操作參數。結果顯示新商用化的疏水性沸石轉輪對處理半導體廠的高風量低排放濃度特性的廢氣時，在維持原標準規格的轉輪厚度(400mm或450mm)下，可將經過沸石轉輪面的限速度由2.0-2.5m/s大幅度上升至3.0-4.5m/s(可處理更大風量)、再生濃縮倍率由10-15倍大幅度上升至15-25倍(大幅度降低脫附風量並節省耗能)、脫附再生出口溫度由35-50℃上昇至50-95℃(提升脫附效果並延長轉輪使用壽命)，在適切之操作條件下，其針對半導體廠排放的VOCs去除淨化效率可輕易達到95%以上(甚至可達99%)，且因脫附風量之大幅度降低而可大幅度節省焚化爐燃燒耗能。
演講摘要
就現行已開發及商用之含VOCs廢氣污染防制設備應用於半導體產業而言，以溫變式蜂巢狀沸石轉輪搭配焚化爐最為普遍，但是市場上及學術界甚少有關溫變式蜂巢狀沸石轉輪吸脫附性能提升的相關論述。因此，本簡報擬針對習有陶瓷纖維基材的轉輪改為玻璃纖維基材後，搭配吸附材料之組合變更與固定結構、脫附再生方式的改良，探討近幾年新商用化的溫變式蜂巢狀沸石轉輪吸脫附淨化處理半導體製造業有機排氣的主要有機物(包括異丙醇(IPA)、單甲基醚丙二醇乙酸酯(PGMEA)…等成份)之高效能吸附特性與操作參數。結果顯示新商用化的疏水性沸石轉輪對處理半導體廠的高風量低排放濃度特性的廢氣時，在維持原標準規格的轉輪厚度(400mm或450mm)下，可將經過沸石轉輪面的限速度由2.0-2.5m/s大幅度上升至3.0-4.5m/s(可處理更大風量)、再生濃縮倍率由10-15倍大幅度上升至15-25倍(大幅度降低脫附風量並節省耗能)、脫附再生出口溫度由35-50℃上昇至50-95℃(提升脫附效果並延長轉輪使用壽命)，在適切之操作條件下，其針對半導體廠排放的VOCs去除淨化效率可輕易達到95%以上(甚至可達99%)，且因脫附風量之大幅度降低而可大幅度節省焚化爐燃燒耗能。