|
張瑞玫(May Chang)
金兆益科技 技術協理
New Fast Technology Co., Ltd. |
學歷
- 清華大學 生醫工程與環境科學研究所
經歷
- 金兆益科技 前瞻技術研究部_8年 / 技術協理
- 健鼎科技 染料敏化太陽能電池 技術工程部_2年 / 課長
- 友達光電 精密儀器分析暨品質管理部_7年 / 副理
講題: 無塵室中AMC智能線上即時監控技術歸納與彙整
演講摘要
如何能有效且即時監控製程環境品質與問題排查, 一直是電子半導體產業製程微污染問題掌控所關注的, 依照2015的ITRS Roadmap中具體化地指出Difficult Challenge為何, 以此彙整適合的分析設備效能要求為何? 甫以有效的線上監控技術和便捷的即時數據應用於製程管理, 以達到產品品質與良率提升最佳化的目的。
演講摘要
如何能有效且即時監控製程環境品質與問題排查, 一直是電子半導體產業製程微污染問題掌控所關注的, 依照2015的ITRS Roadmap中具體化地指出Difficult Challenge為何, 以此彙整適合的分析設備效能要求為何? 甫以有效的線上監控技術和便捷的即時數據應用於製程管理, 以達到產品品質與良率提升最佳化的目的。