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陳玉衡(Yuh Herng Chen)
經理
愛德華先進科技股份有限公司 |
學歷
經歷
學歷
- MS in inorganic chemistry, University of North Carolina at Charlotte
經歷
- 愛德華 iGX, iXH, iXL, iXM 真空產品的研發與應用
- 愛德華智能管理 EdCentra PdM 的研發與應用
講題: 真空幫浦新的節能解決方案與智能管理
演講摘要
Edwards vacuum 多年來致力於研究Sub-Fab 真空附屬設備產品的效率、可靠度提升以及藉由大數據演算分析優化真空設備在現行管理上之效能。從產品面，專利設計適用於製程條件Medium harsh Duty的iXM以及Harsh Duty 的iXH MR2 Model，到由Domain know-how 建立的Edwards EdCentra PdM App 對現行半導體工廠管理轉型上備受討論的預測性維護來優化設備的維修保養以及降低風險，為製程真空設備帶來節能與減廢。
演講摘要
Edwards vacuum 多年來致力於研究Sub-Fab 真空附屬設備產品的效率、可靠度提升以及藉由大數據演算分析優化真空設備在現行管理上之效能。從產品面，專利設計適用於製程條件Medium harsh Duty的iXM以及Harsh Duty 的iXH MR2 Model，到由Domain know-how 建立的Edwards EdCentra PdM App 對現行半導體工廠管理轉型上備受討論的預測性維護來優化設備的維修保養以及降低風險，為製程真空設備帶來節能與減廢。