Speaker
​​陳盈均 (Ying Chun Chen) 博士後研究員/國立臺北科技大學
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Topic
化學過濾器研發平台設置

Abstract

• 半導體產業是台灣的經濟支柱，占國內生產總值(GDP)比重高達10%左右，也因此各廠商無不對其製程污染加以改善精進，以 求良率提升與技術進步，目前先進製程線徑已進入3nm、5nm的時代，異丙醇(IPA, isopropanol)與丙酮(Acetone)是目前高 階製程AMC控制的主要關鍵，儘管潔淨室空氣濾網對微粒有良好的濾除效果，但無法移除氣態化學污染物AMC，必須針對不 同特性的化學氣體增加AMC去除與控制的化學濾網(Chemical Filter)。異丙醇與丙酮的來源大多來自於：1.潔淨室內製程設備 逸散，2.酸鹼製程排氣與VOC混排。而在晶圓製程中會使用的化學品有許多揮發性有機溶劑(Volatile Organic Compounds, VOC)，揮發至室內造成污染。而這些污染物會以氣態或蒸氣方式存在於無塵環境，最後沉積在晶圓表面上對後續製程造成影 響並產生缺陷，因此化學濾網在近幾年來會加裝在無塵室的風機過濾機組(Fan Filter Unit, FFU)上，控制關鍵製程機台內環境 之AMC濃度。避免濃度過高對良率產生不良的影響。
  
• 對於先進半導體廠來說，每年化學濾網的更換量相當驚人，且當室內VOC濃度必須控制在極低數值的狀態下，化學濾網的使 用壽命將急遽的降低。對於化學濾網的供應商來說是一大商機，因此有部分廠商會鋌而走險，將化學濾網內部的吸附濾材 (media)進行偷工減料，使得送樣的化學濾網與交貨的化學濾網品質差異甚大。為避免劣幣驅逐良幣的情況一再發生，晶圓廠 必須經常對採購的濾網進行抽樣進行性能測試。因此本團隊致力於: 建置一個依循ISO 10121測試方法的全尺寸化學濾網測試 系統，提供國內廠商一個穩定的化學性能測試開發平台。