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Paul Chabot
Global Sales Manager FTIR and ICOS
ABB Inc |
學歷
- PhD. In Chemistry with a focus on Molecular Spectroscopy at Laval University under the direction of Michel Pezolet and Robert Prudhomme
- 2018- present: FTIR & ICOS Global Sales Manager for ABB
- 20016-2018: North America Sales Manager for ABB
- 2012-2016: Canada Sales Manager for ABB
- 2003-2010: Global FTIR Sales & Marketing Manager for ABB
- 2000-2003: Semiconductor Industry Manager for ABB
- 1999-2000: Semiconductor Product Manager for Arkema
講題: 偏軸集成腔光譜學(OA-ICOS)應用在半導體AMC監測
演講摘要
雷射分析儀以快速、靈敏和精確的氣體監測而聞名。 在過去的三十年裡取得了重大進展, 最初的技術引進始于雷射吸收光譜 (LAS), 推進到光腔衰盪光譜(CRDS), 以及最近商業化發展的離軸集成腔光譜 (OA-ICOS)。 這三種方法的工作原理看來相似, 但在實際應用中, 在設計和性能上存在顯著差異。雖然這些雷射方法目前都有使用, 但與以前建立的技術相比, OA-ICOS 提供了許多優勢, 包括檢測的限值非常低, 加上高速和長期穩定。 一個具體的例子是 HF、HCl 和 NH3 的測量, 用於潔淨室內的 AMC 監測。這些氣體測量的需要是明確的, 它們會侵蝕晶圓而必須嚴格監控。
OA-ICOS的實施可在超低檢測水準下快速識別污染物, 並以最少的維護時間長時間可靠運行。
演講摘要
雷射分析儀以快速、靈敏和精確的氣體監測而聞名。 在過去的三十年裡取得了重大進展, 最初的技術引進始于雷射吸收光譜 (LAS), 推進到光腔衰盪光譜(CRDS), 以及最近商業化發展的離軸集成腔光譜 (OA-ICOS)。 這三種方法的工作原理看來相似, 但在實際應用中, 在設計和性能上存在顯著差異。雖然這些雷射方法目前都有使用, 但與以前建立的技術相比, OA-ICOS 提供了許多優勢, 包括檢測的限值非常低, 加上高速和長期穩定。 一個具體的例子是 HF、HCl 和 NH3 的測量, 用於潔淨室內的 AMC 監測。這些氣體測量的需要是明確的, 它們會侵蝕晶圓而必須嚴格監控。
OA-ICOS的實施可在超低檢測水準下快速識別污染物, 並以最少的維護時間長時間可靠運行。