Speaker
​​林迪 (Ti Lin) ​助理教授/國立臺北科技大學
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Topic
潔淨室大面積的流場可視化

Abstract

• 若能全面了解潔淨室氣流動向及污染物流經路線，將有助於污染物之控制與影響評估, 現有的流場可 視化技術大多受限於小範圍流場居多；在許多空間需要觀察大面積流場,例如潔淨室空間,，因此製作 出一套能使用於大面積流場可視化的系統成為重要課題。大面積流場可視化系統能更實際觀測各種類 型的空間氣流變化，了解未知洩漏污染物來源與其入侵途徑並追蹤其來源.
• 目前市面上流場可視化系統通常利用透鏡將雷射光束散射成為扇形的雷射切面，而得到的切面面積則 與透鏡本身角度有關，也因為此種方法是將雷射光束散射成為切面，故會造成雷射切面強度隨照射距 離增加而遞減的情況。本套大面積流場可視化設備，其雷射強度不隨距離遞減、可用於大面積水平與 垂直觀測、效率高適合各種場合氣流量測，且所有設備攜帶方便，只需一只行李箱即可移動.
• 演講中我們會展示本系統用於晶圓盒在氮氣/CDA purge 過程中的流場行為. 流場對於高階製程之相對 濕度以及氧氣濃度控制非常重要.